2ちゃんねる ★スマホ版★ ■掲示板に戻る■ 全部 1- 最新50  

■ このスレッドは過去ログ倉庫に格納されています

キャノンMPAについて教えて下さい

1 :素人:2006/01/29(日) 10:15:46 ID:QWZb0cPT
MPA素人です。いろいろ教えて下さい。
MPAのスリット幅を3〜4mmに変更したいと思ってるのですが今まで内の会社では実績ありませんどの様な評価が必要なのでしょうか。
解像度はいかかなものでしょう!


2 :漂泊の2ゲッター:2006/01/29(日) 11:58:22 ID:eiEGHYCu
          ら
            ∧_∧ ∧     り
           ( ´∀`)`__∧
           / ,  つ∧`__∧
  ゆ      /(__(__ヽ∩∧`__∧
        /(__(_し'し'ヽ∩´∧`_∧     2げっと…
  ///`∧_∧_(_し'し   ヽ ∩´∀` )∧_∧
 ( (((( ´∀`)_し'し     ヽ   とノ( ´∀`)
 /////つ   つ'し       (⌒)  ノ (    )
/////  ,へ 〈          ~ し'  | | |
(((((_ノ (__)              (__)_)

3 :素人:2006/01/29(日) 21:21:52 ID:QWZb0cPT
頼む誰か教えて下さい。

4 :素人:2006/01/29(日) 22:15:56 ID:QWZb0cPT
ここは半導体のプロ集団が多そうなので初カイコしました。
内の会社ままだまだMPAが主流で10数台あります。全て標準1.6mm使っています。
だから2〜3mmにした時の品質的なことが知りたいです。
宜しくお願いします。

5 :素人:2006/01/31(火) 00:16:46 ID:Ur1CxS8y
半導体プロ集団さま。
なにとぞお知恵えをお貸し下さい。

6 :セミプロ:2006/02/01(水) 14:27:56 ID:rs6Wxmxk
2mm、3mmをお使いのユーザー様もおります。
一般にスリット幅を広げると、
@非点収差が増え、結果解像力が劣化する。↓
A照度が高くなる。↑
と、いった事が考えられる。
よって、解像力があまり必要ない工程では
露光時間短縮のため幅広を使い、微細工程
では1.6mmを使う。これが一般的の
ようです。
いずれにしても、プロセスでの評価で
生産性と線幅の議論と検証が必要です。

注:スリット幅を広げても、FEレンズにアパーチャーを
  入れて、コントラストを上げ像劣化を補う事も
  評価する価値あり。

7 :素人:2006/02/04(土) 00:27:23 ID:mo7GBDLt
セミプロさまありがとうございます。
FEレンズ、アパーチャーってなんでしょうか
お教え下さい

8 :素人:2006/02/04(土) 23:30:36 ID:mo7GBDLt
セミプロさま
4mmのをお使いのユーザー様もおりますでしょう

9 :素人:2006/02/08(水) 11:48:32 ID:LLuwynPA
セミプロさま
アパーチャーを入れると照度低下露光時間短縮なるのでしょうか!

10 :素人:2006/02/12(日) 22:25:58 ID:PuAeG+3G
セミプロさま
3mmスリット作成し試したのですが照度だほとんど変化しませんでした
なぜでしょうか

11 :セミプロ:2006/02/18(土) 11:39:07 ID:NGvOdyoD
海外出張に行っていました。

FEレンズ:フライズアイレンズ(ハエの目レンズ)です。
     照明系内のエリプソミラーから数えて4番目にある
     カマボコレンズ(シリンドリカルレンズ)を組み合わせた 
     ユニットです。⇒照度を均一にするためのもの
アパーチャー:FEレンズの上につける「絞り」です。光源のシグマ(σ)を
       変えることができます。(四角いSUS板で真ん中の開口率が違います)

4mmSlit使用は、私どもでは使っていません。

アパチャーを入れると、照度は下がります。=露光時間がかかります。(同一Doseなら)

3mmSlitを私どもでも使用しています。
標準に比べ、2倍弱の照度アップが得られています。露光時間を短縮してタクトアップ
しています。Slitの内外のブレードの精度は結構厳しいようです。Slit位置によって
光学性能が左右されます。投影光学系の結像領域に対し照明光の位置がずれているの
でしょう。メーカーから借りたらどうでしょうか?多分試作貸し出し品かなんかあるよ。
大手?中古機業者に頼むとろくな事なかった。光学に関しては、メーカーがいい。

こんなところでしょうか!
確かにMPAは、いじりがいがありますね。


12 :素人:2006/04/12(水) 01:47:56 ID:m/+EZPdg
3mmスリット4ラインに導入しましたが水銀灯の寿命が短くなり問題になっています。
メーカーからもミラー、レンズの劣化が激しいと忠告うけましたが
でも会社としては交換する気ないようで困っています。
ちなみにG1ミラーは10年以上交換したことありません
これって異常ですよね!
なにとぞ素人なものでいろいろアドバイス宜しくお願いいたします。
またAUTO PDC処理についてk値1.0±0.1以上になるとパターンズレ発生しますか?
質問だらけで申し訳ありませんがお教え下さい。宜しくお願いいたします。

13 :素人:2006/04/12(水) 02:03:47 ID:m/+EZPdg
追記
現在うちの会社はk値最大で2.5くらいでつかっていますやっぱり異常ですよね
基板調整不可、電気調整不可状態ですメーカーO/Hしかないですか?です。

14 :セミプロ代理:2006/04/15(土) 14:54:40 ID:q0onQ+Qg
3mmスリットと水銀ランプの寿命は関係ない。メーカーの言うように「レンズの曇り」
だな。G1が10年使えるとは到底思えない。再生品買って交換したら?あとメーカーに
クリーニングしてもらうのも手だが、所詮すぐ曇るよ。
ADCのK値は、1以上だとずれの発生の可能性が高くなるよ。2.5で電気調整不可なら
基板交換して再調整した方がベター。
LAB系のO/hとウエハステージのO/h&照明計O/hを頼めば?あとは、自前のメンテだな。

15 :素人:2006/06/20(火) 22:58:07 ID:PmT7rL26
皆様お久ぶりです。
いろいろアドバイスありがとうございます。
最近1台のMPAが2〜3日で光量上らず水銀灯交換してる状況です。
何かいい方法ありましたらお教え下さい。
宜しくお願いいたします。
確かにレンズ、ミラー等はボロボロです。


16 :名無しさん@3周年:2006/07/10(月) 21:59:47 ID:eokXW05n
MPA-8000シリーズについてもお願いします

17 :過去のセミプロ:2006/09/29(金) 11:03:27 ID:uj28vOF5
半導体工場を既に離れた者です。
ミラー、レンズ関係は定期的に交換もしくはクリーニングする。
水銀灯交換時の初期のSUM値で管理するのもいいかもしれません。
劣化してればSUM値が大きくなります。
G1の10年は使い過ぎと思われます。
AUTO-PDCのk値は、やはり1.0±0.1におさめるのが無難だと思います。
電気調整負荷の場合は、UM締め直ししてみてはどうでしょう。
かなり効果があります。
UMを固定してるボルト、、何本だったかな、、6本?8本?
それを一旦緩め、30分から1時間ほど解放します。
それから再度、規定のトルクで締め上げます。(トレーニングテキストに書いてあります)
DRを確認して、完璧に追い込みます。
時間はかかりますが、そんなに難しいメンテナンスでもありませんので、是非、自社でトライしてみてはいかがでしょうか。
やればやるほどメーカーに頼らなくてもできるようになります。
がんばってください。

7 KB
■ このスレッドは過去ログ倉庫に格納されています

★スマホ版★ 掲示板に戻る 全部 前100 次100 最新50

read.cgi ver 05.02.02 2014/06/23 Mango Mangüé ★
FOX ★ DSO(Dynamic Shared Object)